天津大學(xué)2025年9月政府采購意向-原子制造加工設(shè)備詳細(xì)情況
原子制造加工設(shè)備
項(xiàng)目所在采購意向：天津大學(xué)2025年9月政府采購意向
采購單位：（略）
采購項(xiàng)目名稱：（略）
預(yù)算金額：161.500000萬元(人民幣)
采購品目：A（略）其他儀器儀表
采購需求概況：該設(shè)備適用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工。真空腔材質(zhì)為不銹鋼，腔體表面經(jīng)過電解拋光處理。要求樣品臺(tái)室溫至500℃可控。至少配備6（略）：2路常溫源、4路加熱源；（略）需加配耐腐蝕微調(diào)閥。配備2（略），反應(yīng)物包含H2O、O3。至少配備2個(gè)真空壓力計(jì)，包含一個(gè)高真空壓力計(jì)和一個(gè)大氣真空壓力計(jì)。（略）配備工控機(jī)和PLC，工控機(jī)配備SSD固態(tài)硬盤，PLC可支持2ms掃描周期。采用電感耦合(ICP)遠(yuǎn)程等離子體激發(fā)源，配備自動(dòng)匹配器，可自動(dòng)進(jìn)行阻抗匹配，縮短匹配時(shí)間。（略），熱阱加熱器。
預(yù)計(jì)采購時(shí)間：2025-09
備注：
本次公開的采購意向是本單位：（略）