潔凈室檢測主要分為：

一、風量和風速的檢測

二、靜壓差檢測

三、潔凈度測定

四、微生物粒子檢測

五、安裝后高效空氣過濾器的檢漏

六、污染泄漏測試

七、氣流流型試驗

八、自凈時間測定

九、溫度及相對濕度檢測

十、照度檢測

十一、噪聲檢測

十二、防靜電地面導靜電性能測定

一、風量和風速的檢測

風量和風速的檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量和風速條件下獲得。

01

測前準備工作

風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙(如過濾器有無被堵、擋)，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，并且必須實際測量被測風口、風管尺寸。

02

單向流(層流)潔凈室的風量測定

垂直單向流(層流)及水平單向流(層流)潔凈室，目前均采用截面平均風速與截面面積的乘積來計算風量，關于截面的取法和測點的布置見下表

03

非單向流（亂流）潔凈室的風量測定

非單向流(亂流)潔凈室的風量可以用風管法和風口法兩種方法量測，關于截面的取法和測點的布置見下表

二、靜壓差檢測

此項檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或負壓，以防止潔凈室內外氣流間的相互影響。

1、檢測要求

（1）靜壓差的測定要求在潔凈區內的所有門全部關閉情況下進行。

（2）在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。

（3）測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。

（4）所測量記錄的數據應精確到1.0Pa。

2、檢測步驟

（1）先關閉所有的門。

（2）用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。

（3）記錄所有數據。

3、合格標準

按照潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。

（1）不同級別的潔凈室或潔凈區與非潔凈室（區）之間的靜壓差，應不小于5Pa。

（2）潔凈室（區）與室外的靜壓差，不應小于10Pa。

（3）對于空氣潔凈度等級嚴于5 級（100 級）的單向流潔凈室在開門時，門內0.6m 處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。

（4）若達不到以上標準的要求，應重新調整新風量、排風量、至合格為止。

三、潔凈度測定

《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）中規定如下：

01

檢測規則

（1）測定潔凈度的最低限度采樣點數按下表的規定確定。每點采樣次數不小于3 次，各點采樣次數可以不同。

注：表中面積的含義是：對于單向流（層流）潔凈室，是指送風面面積，對于亂流潔凈室，是指房間面積。

（2）測定潔凈度的最小采樣量按下表的規定確定。

（3）對于單向流潔凈室，采樣口應對著氣流方向，對于亂流潔凈室，采樣口宜向上。采樣速度均應盡可能接近室內氣流速度。也即參考“等速采樣”。

（4）潔凈度測點布置原則是：

? ? ? ?多于5點時分可分層布置，但每層不少于5點；5點或5點以下時，可布置在離地0.8m高平面的對角線上（如下圖），或該平面上的兩個過濾器之間的地點，也可以在認為需要布點的其他地方。

02

數據整理

室內潔凈度按公式計算室平均含塵濃度N 和各測點平均含塵濃度的標準誤差。

03

評定標準

如測定時的狀態（空態、靜態、動態）與事先約定的狀態相同，則以其級別上限做為評定標準。如測定時為空態或靜態，則動態時粒子數肯定會高，所以，如用靜態檢測代替動態檢測則粒子數會偏小，有時可以用靜態粒子數的3～5 倍來估計動態情況，當然這也僅是個經驗參考值。

04

?注意事項

測定時進入潔凈室人員要穿潔凈服（有風淋室時需經風淋）在室內盡量處于下風處并靜止少動，最多能進二人。粒子計數器一般均有一個開機后預熱穩定過程（時間因機型而異）注意按儀表說明書操作。

?一般粒子計數器均有“粒子校準”這一旋紐，在使用前必須校準，使用一段時間（例如連續使用0.5～1h）后均需進行檢查。嚴禁故意將靈敏度調低的不正當做法。

每個測點測完后需要移機（或移動采樣口）時，要有一個穩定過程，一般為1～5 分鐘，也可以將移機后前幾次打印數據棄去。

有研究發現打印機本身的動作具有一定的產塵量，故在測量高級別潔凈室時，要考慮打印機紙張發塵的影響。建議選取可儲存數據的儀器，實驗后再把結果打印出來。或將連線延長，將打印機置于被測潔凈室外。

四、微生物粒子檢測

? ?空氣中懸浮微生物的測定有多種，但其測定的基本過程都是經過捕集-培養-計數的過程，目前普遍采用的是浮游菌和沉降菌的測試方法，浮游菌測試方法是通過收集懸浮在空氣中的生物性粒子于專門的培養基，經若干時間在適宜的生長條件下讓其繁殖到可見的菌落進行計數，以此來判定潔凈環境內單位體積空氣中的活微生物數。

沉降軍測試方法是通過重力自然沉降原理收集在空氣中的生物粒子于培養皿中的培養基上，經若干時間，在適宜的條件下讓其繁殖到可見的菌落進行計數，以平板培養皿中的菌落數來判定潔凈環境內的活微生物數。

01

檢測要求

（1）檢測前，被測潔凈室的運行狀態必須在正常狀態，其溫度、濕度、風量、風壓及風速必須在控制的規定值內；被測試的潔凈室（區）應已進行過消毒；同時，潔凈室的測試狀態必須符合生產工藝的要求，并在測試報告中注明其測試狀態（空態、靜態、動態）。

（2）測試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過兩個人。

（3）凈化空調系統正常運轉時間對單向流如5 級（100 級）潔凈室或層流工作臺不得少于10min；對非單向流如7 級（10000 級）、8 級（100000 級）的潔凈室不得少于30min。

（4）采樣點的布置及要求：

①浮游菌測試時，采樣點位置可以與懸浮粒子測試點相同。工作區測點位置距地面0.8～1.5m（略高于工作面）；送風口測點位置距送風面30cm 左右。根據需要可在關鍵設備或關鍵工作活動范圍處增加測點。采樣點的布置應力求均勻，避免采樣點在某局部區域過于集中，某局部區域過于稀疏。浮游菌測試的最少采樣點數為日常監測及環境驗證兩種情況，見下表：

②沉降菌測試時，采樣點的位置可以與懸浮粒子測試點相同。工作區采樣點的位置距地面0.8-1.5m（略高于工作面）；根據需要可在關鍵設備或關鍵工作活動范圍處增加測點。采樣點的布置應力求均勻，避免采樣點在某局部區域過于集中，某局部區域過于稀疏。沉降菌測試的最少采樣點數可見下表：

02

檢測方法

（1）浮游菌的測試

①首先應對測試儀器、培養皿表面進行嚴格消毒，采樣器進入被測房間前先用消毒房間的消毒劑滅菌，用于100 級潔凈室的采樣器宜一直放在被測房間內；用消毒劑擦凈培養皿的外表面，把采樣器的頂蓋、轉盤以及罩子內外面消毒干凈；采樣口及采樣管在使用前必須高溫滅菌。

②采樣者應穿戴與被測潔凈室相應的潔凈服，在轉盤上放入或調換培養皿前，雙手用消毒劑消毒。

③儀器經消毒后先不放入培養皿，開動真空泵抽氣，使儀器中的殘余消毒劑蒸發，時間不少于5min,并調好流量、轉盤轉速。

④關閉真空泵，放入培養皿，蓋好蓋子后調節采樣器。

⑤置采樣口于采樣點后，依次開啟采樣器、真空泵、轉動定時器，根據采樣量選定采樣時間。

⑥全部采樣結束后，將培養皿倒置于30～35℃恒溫培養箱中培養，時間不小于48h。

⑦用肉眼直接計數，然后用5～10 倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊，分辨時仍以兩個或兩個以上菌落計數。

（2）沉降菌的測試

①首先也是對測試儀器、培養皿表面進行嚴格消毒滅菌，在37℃，48h 恒溫培養箱中培養觀察，確信無菌后方可使用。

②一般用φ90mm 的沉降平皿，注入20ml 培養基，放在測點處，開蓋暴露30min，將培養皿蓋蓋上后倒置。然后在30～35℃恒溫培養箱中經48h 培養為用肉眼計菌落數，并記錄生成的菌落數CFU(Colony forming units)，然后用5～10倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若培養皿上有兩個或兩個以上的菌落重疊，分辨時仍以兩個或兩個以上菌落計數。由于菌落實驗操作程序較為繁多，如有可能采用增加空白器皿對照法以減少偶然誤差可能性，另外，由于條件限制，有時測量者將培養皿放在潔凈室地面上，這種方法會造成較大誤差，建議做專用支架來保持測定高度。

（3）合格標準

國內外有關浮游菌和沉降菌測定的標準詳見下面兩張表：

國內外有關浮游菌測定的標準

五、安裝后高效空氣

過濾器的檢漏

高效過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能試驗（其檢測方法如DOP 試驗、NaCl 試驗、油霧試驗等），并提供合格證（含性能試驗結果）。

對于5 級（100 級）以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現場應再次進行高效過濾本體及其正確安裝狀態進行泄漏試驗。

對于6 級及以下的生物潔凈室也用此方法檢漏。而在大規模集成電路生產的超潔凈技術中（0.1μm，1 級），由于新風量往往僅是循環風量的百分之幾，經過稀釋上風側也變成6 級（1000級）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP 檢漏試驗。不足此處為問題不足。

1、檢測要求

一般采用粒子計數器法進行檢漏，被檢高效過濾器必須已檢測過風量，并在設計風速的80%～120%之間運行。實測時很多設計風量不到過濾器額定風量的80%，由于過濾器在低風速下泄漏比例會加大，數據偏安全，有時不必再加大風量。

對于被檢高效過濾器上風側的微粒濃度符合如下要求。對受控粒徑≥0.5μm 的濃度，必須大于等于3.5x104pc/L；對受控粒徑≤0.5μm 的濃度，必須大于等于3.5x106～107pc/L。

2、檢測方法

采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測，檢測點應距離被測表面20～30mm，測頭以5～20mm/s 的速度移動，對被測過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描，粒子計數器的最小采樣量大于1L/min。

3、評定標準

由受檢過濾器下風側測得泄漏的濃度換算成穿透率，高效過濾器不應大于出廠合格穿透率的兩倍，對于D 級超高效過濾器不應大于出廠合格穿透率的3倍。

六、污染泄漏測試

此項測試是為考慮與國際標準接軌而規定的。它要求，有孔洞相通不同潔凈度等級的相鄰潔凈室，其洞口處應有合理的流向，且其風速應大于0.2m/s。

七、氣流流型試驗

風量和風速的檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量和風速條件下獲得。

01

測點位置

風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙(如過濾器有無被堵、擋)對于單向流潔凈室，在每個所測截面上測點間距為0.2～1m，垂直單向流要取四個截面：潔凈室縱剖面，橫剖面及距地0.8m、1.5m 兩個水平面。水平單向流要求五個截面：潔凈室縱剖面、工作區水平面、房間中心和距離送、回風0.5m的3 個橫剖面。

對非單向流需要取三個測點截面：具有代表性的送、回風口中心的縱、橫剖面和工作區高度的水平面。，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，并且必須實際測量被測風口、風管尺寸。

02

測定方法

用發煙器或懸掛細絲線的方法逐點和觀察記錄氣流流向；用量角器測定氣流流向的偏離角度。在每個截面的測點布置圖上標出流向。

03

判定標準

工作區氣流流向偏離規定方向的角度最好不大于14o 應給出氣流流型圖，并給出分析結果。

八、自凈時間測定

1、以大氣塵為基準測量

以大氣塵為基準測量時，必須潔凈室停止運行一段時間（條件允許時可開門開窗），待空氣中含塵濃度與大氣接近時，然后開機，定時讀數。直到濃度達到最低穩定值為止，這一段時間即為自凈時間。

2、以人工塵為基準則量

以人工塵（例如巴蘭香、香煙）為基準則在潔凈室中央1.8m以上的高度發煙1～2min 即停止，再穩定1min，然后開機重復上條方法檢測。

3、合格標準

實測自凈時間如不大于由初始濃度、穩定下限濃度、實際換氣次數，計算得出的理論計算濃度的1.2倍即為合格。

九、溫度及相對濕度

檢測

《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）中規定如下：

01

檢測要求

（1）測定前，凈化空調系統應連續運行24h 以上。

（2）根據溫度和相對濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表，并經過效驗標定合格。

02

數據整理

（1）測點距地面0.8m，距外墻應大于0.5m，也可以根據恒溫區的大小，分別布置在離地不同高度的幾個平面上。

（2）根據溫濕度波動范圍要求，檢測宜連續進行8～48h，每次讀數間隔不大于30min。

（3）對沒有恒溫要求的房間，溫度僅測房間中心1 個點即可。

（4）對有濕度波動要求的區域，測點應放在送、回風口處或有代表性的地點。其測點數按下表確定：

03

合格標準

室溫波動范圍按各測點的各次溫度中，偏差控制溫度的最大值整理成累計統計曲線，若90%以上測點偏差值在室溫控制范圍內，為符合設計要求，反之為不合格。相對濕度波動可按溫度波動范圍的規定進行。

十、照度檢測

01

檢測要求

室內照度測定必須在室溫已趨穩定，光源光輸出趨于穩定后進行（對熒光燈必須有100h）。

02

檢測方法

（1）測點平面離地面0.85m，按間距1～2m布點，測點距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求要求相同。

（2）記錄，在筒圖上設測量位置，記錄實測照度值并計算總的平均照度。

（3）照度測定一般僅測定除局部照明之外的一般照明。

03

檢測儀器：便攜式照度計。

符合設計要求或符合GB50073-2001《潔凈廠房設計規范》中對潔凈室（區）的照度值的明確規定（該規范中的表9.2.3）。潔凈室內一般照明的照度均勻度不應小于0.7。

十一、噪聲檢測

噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計，一般情況下只檢測A 聲級的數據，必要時測倍頻程聲壓級。

1、檢測方法

（1）檢測點布置，當面積≤50m2,僅測房間中心一個點；當房間面積較大時，每增加50m2增加1 個點，測點距地面1.1m。

（2）有條件時，宜測量潔凈室靜態工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。

2、合格標準

符合設計要求或按《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001中的規定，在空態情況下，非單向流潔凈室的噪聲級不應大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室的噪聲級不應大于65dB(A)。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級值不應大于《潔凈廠房設計規范》中表4.4.2的規定。

十二、防靜電地面

導靜電性能測定

01

檢測設備

采用符合精度要求的高阻計。

02

檢測方法

在測試表面上選擇比較有代表區域的兩個點，用導線把高阻計和兩個銅圓柱形電極連接起來進行測量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按下圖所示的測試裝置測量。

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