成交信息
成交供應(yīng)商：（略）
成交金額：
選標(biāo)理由：
項目名稱：（略）
（略）：JLU-KC25055
公告開始日期：（略）
公告截止日期：（略）
采購單位：（略）
付款方式：（略）
聯(lián)系人：（略）
聯(lián)系電話：（略）
簽約時間要求：成交后7日內(nèi)
到貨時間要求：國內(nèi)合同簽訂后60個日歷日內(nèi)
預(yù)算總價：（略）
收貨地址：（略）
供應(yīng)商資質(zhì)要求：符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件
采購清單1
采購商品：（略）
采購數(shù)量：1
計量單位：（略）
所屬分類：電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備
預(yù)算單價：299000.0
技術(shù)參數(shù)及配置要求：（略）PD-400S1.腔體結(jié)構(gòu)：不銹鋼腔室，方箱腔體，前后開門，可對接手套箱；2.（略）：進口分子泵+（略）；3.極限真空：優(yōu)于5.0×10-5Pa，真空漏率≤10-8Pa.l/s；4.基片臺尺寸：不變小于150mm*150mm；5.抽氣時間：真空室從大氣到抽到≤5.0×10-4Pa，小于25min（手套箱環(huán)境）；6.6組蒸發(fā)源；7.膜厚檢測：進口膜厚儀自動鍍膜，膜厚檢測精度0.1埃
采購清單2
采購商品：（略）
采購數(shù)量：1
計量單位：（略）
所屬分類：電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備
預(yù)算單價：299000.0
技術(shù)參數(shù)及配置要求：真空室、（略）、氣體控制、濺射靶槍、濺射電源、加熱工件臺、（略）組成。1.真空室1.1采用304不銹鋼真空室，尺寸約為400mm（寬）×400mm（深）×380mm（高），內(nèi)部拋光；1.2真空室前開門，門上帶有一個100mm觀察窗，觀察窗帶擋板，防輻射；1.3底部3個法蘭，用于安裝靶槍及擋板轉(zhuǎn)軸；2.（略）2.1采用“分子泵+機械泵”（略）；氣動閥門；分子泵抽速：1300L/S，機械泵抽速：9L/S；2.2真空閥門：型號：DN40mm擋板閥2套；氣動主閥DN2001套；可調(diào)限流閥1套；2.3真空測量：2低1高數(shù)顯復(fù)合真空計一套，含真空規(guī)管；3.氣體控制3.13路進氣，流量計最大流量分別為200/100/20sccm；4.濺射靶槍4.13個3英寸圓形靶槍，桿狀安裝，共焦向上濺射；4.2靶槍和工件距離60-120mm電動可調(diào)節(jié)；4.3每個靶槍帶一個獨立的電控氣動擋板；5.濺射電源5.1直流電源500W*1臺，射頻電源600W*2臺；6.加熱工件臺6.1直徑6英寸工件臺；6.2轉(zhuǎn)速0-30RPM可調(diào)節(jié)；6.3可放100*100mm樣品；6.4樣品臺加熱溫度500℃；導(dǎo)電溫控儀控溫；6.5配備氣動樣品臺擋板。7.（略）7.1西門子PLC+（略）；7.2控制內(nèi)容：機械泵，分子泵，氣動、電磁閥門、流量計等等；自動抽真空，自動鍍膜（選配）、自動停泵等等；7.3完整的互鎖保護（硬件、軟件互鎖），在手動和自動模式下，設(shè)備處于完整互鎖保護下。
采購清單3
采購商品：（略）
采購數(shù)量：1
計量單位：（略）
所屬分類：電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備
預(yù)算單價：300000.0
技術(shù)參數(shù)及配置要求：簡規(guī)：100*100mm，150℃樣品臺，2路加熱源，1路去離子水前驅(qū)體源，（略）待升級1、100*100mm樣品反應(yīng)腔；2、反應(yīng)腔上、下獨立加熱控溫，樣品溫度可加熱到150℃，溫度控制精度±0.5℃；3、沉積腔室內(nèi)（略），沉積薄膜顆粒少，0.5um以上顆粒值增加少于50顆；4、配置2路加熱金屬前驅(qū)體源和1路水前驅(qū)體；（略），源和管道前驅(qū)體管道可加熱到200℃，溫度控制精度±0.5℃；Swagelok快速ALD閥門，響應(yīng)時間10ms；5、Inficon薄膜真空計和大氣壓監(jiān)測雙真空計，實現(xiàn)ALD工藝過程中脈沖壓力變化的實時監(jiān)測；6、真空泵前配置有殘余前驅(qū)體源處理熱阱，加熱溫度可達600℃，控制精度±0.5℃；7、全自動PLC自動控制軟件，觸摸屏人機操作界面；帶有Recipe菜單，日志與數(shù)據(jù)記錄，CDA欠壓報警等異常報警與處理，登錄權(quán)限管理；8、設(shè)備維護簡單、方便，一次大保養(yǎng)僅需2小時可完成。
成交信息：
成交供應(yīng)商：（略）
成交金額：898,000.00
選標(biāo)理由：符合要求，價格最低
項目名稱：（略）
公示開始日期（略）:53:39公示截止日期公示一天
采購單位：（略）
聯(lián)系人：（略）
簽約時間要求成交后7日內(nèi)到貨時間要求國內(nèi)合同簽訂后60個日歷日內(nèi)
預(yù)算總價￥898,000
收貨地址：（略）
發(fā)票要求增值稅發(fā)票（一般納稅人須開具增值稅專用發(fā)票）
供應(yīng)商資質(zhì)要求符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件
吉林大學(xué)
（略）:53:39