@項目公告信息.項目名稱：（略）
1、采購項目簡介本采購項目硅烷合成裝置、（略）及高純硅烷制備相關試驗外協服務
已批準實施，采購項目資金已落實，采購人：（略）
2、采購范圍及相關要求2.1采購范圍：硅烷合成裝置1套、（略）1套、高純硅烷制備相關試驗外協服務1批。
2.2交貨期：合同簽訂后5個月內完成。
2.3交貨地點：（略）
2.4結算方式：（略）
2.5貨物質量標準或主要技術性能指標：詳見公告附件。
3、供應商資格要求3.1具有獨立訂立合同和履行合同能力的中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織。
3.2本次采購要求供應商須具備危險化學品經營許可證。
3.3本次采購不接受聯合體響應。
3.4其他要求：
供應商不得存在下列情形之一：
3.5其他要求：
?8?3未（略）（（略）.cn/）中列入“嚴重違法失信企業名單（黑名單）”，以事業單位：（略）
?8?3未被人民法院在“信用中國”網站（（略）.cn）或“（略）”（https://（略）.cn/shixin/）中列入“失信被執行人名單”；
?8?（略）違紀違規名單、違約名單、資格暫停供應商清單（如有）或黑灰名單（如有），且未從上述名單中釋放的。
注：（略）站查詢結果截圖，如截圖不準確或不清晰的以評審現場查詢結果為準。
3.6保密及廉潔要求
供應商須遵守采購人：（略）
4、采購文件的獲?。?span id="mgogky0qc22" class="open_quick_reg">（略）
4.（略）完成注冊報名并領購本項目采購文件的法人或其他組織，其響應將被拒絕。5、響應文件的遞交5.1響應文件遞交的截止時間（遞交截止時間，下同）為2025年6月26日下午13時0分，地點：（略）
5.2紙質文件遞交：逾期送達的、未送達指定地點：（略）
紙質文件可以采用郵寄方式：（略）
6、談判時間和地點：（略）
談判地點：（略）
7、（略）(https://（略））（略）（（略））上發布。
8、聯系方式：（略）
地址：（略）
郵編：300000
聯系人：（略）
電話：（略）
采購集采機構：（略）
聯系人：（略）
電話：（略）
電子郵箱：（略）

公告附件：

1概述本技術規格書是根據中國原子能集中采購要求編制，供貨商應按照本文件的相關要求，提供合格的物資和優質的服務。
2規范和標準在合同確定后，依據合同中的物資，供貨商應遵守相應的行業標準、國家標準、國際標準以及技術規格書。所有材料均應有合格證明書，（略），原材料應符合標準規定的化學物理性能。相關適用的規范和標準具體如下：
GB/T（略）：規定了可燃和有毒氣體檢測點的布置原則及報警聯動要求。
GB/T（略）：明確硅烷的純度、雜質含量及儲存條件，（略）密封性設計。（略）安全規范：詳細規定了泄漏應急處理、檢測器安裝及氣瓶管理要求。
HJ（略）：提供泄漏檢測與修復的技術框架，（略）的日常維護。GB/T（略）工業閥門金屬隔膜閥
GB/T（略）流體輸送用不銹鋼無縫鋼管
GB/T28474.1-2012（略）用壓力/差壓變送器
GB/T（略）電子臺案秤
以及其他本項目涉及物資所對應的國家規范要求。
3供貨范圍3.1供貨內容有關四氟化硅制備硅烷的硅烷合成裝置、（略）及高純硅烷制備相關試驗外協服務。
表1采購物項范圍
采購類別
名稱：（略）
數量
備注
設備類
硅烷合成裝置（定制）
1套
詳見本文4.1規定
設備類
（略）（定制）
1套
詳見本文4.2規定
服務類
高純硅烷制備相關試驗外協服務
1批
詳見本文4.3規定

3.2提供文件供貨商應按照要求提供包括不限于如下文件：
出廠合格證；使用說明書：需盡可能詳盡、細致，清楚表達物資的特點、安裝、使用等過程的要求和注意事項；材料合格證明；設計圖紙、（略）相關電氣圖紙；4技術要求4.1反應裝置技術要求該定制裝置用于四氟化硅制備硅烷的合成反應，裝置包含不限于：帶攪拌高壓反應釜、還原劑配置及加料裝置、（略）、粗品收集容器、電子秤、配套連接管道閥門、溫度壓力監控儀表等，物料接觸部分均采用無硅材質，（略）實現模塊化撬裝化，便于搬遷與組裝。
整體反應為間歇反應，要求單批次收集到的硅烷50g~70g，示意圖及主要配置如圖1所示：
圖1硅烷合成裝置示意圖
（略）硅烷合成裝置中主要設備技術要求：
1）高壓反應釜：
材質：316L不銹鋼。
全容積：5L，設計壓力5Mpa。
反應釜結構：帶錨式攪拌配防爆變頻電機，攪拌軸耐腐蝕且抗震，具有可翻轉功能，夾套設計，支持導熱油、水或其他冷媒作為循環介質，傳熱效率大于90%。
防爆要求：防爆設計符合GB/T（略）《壓力容器》規定，設置爆破片或安全閥。
溫度控制要求：溫度精度±1℃。
壓力監測：數顯壓力傳感器（0~10MPa），誤差≤0.5%FS，超壓自動泄放。
泄漏率要求：采用雙端面機械密封或磁力密封，泄漏率≤10?6?39Pa·m?0?6/s，防止硅烷（易燃易爆）泄漏。
惰性保護：（略），氧含量≤1ppm，防止硅烷自燃。
鈍化處理：管道、閥門、VCR接頭及容器內壁需進行化學鈍化（如EP處理），減少表面活性位點。
加料容器材質：316L不銹鋼，EP級處理。
全容積：1L，設計壓力1Mpa。
加料上下口閥的要求：自主設計加料上口便于氫化物溶液加料，下口與高壓反應釜對接。
加料方式：（略）
加料計量方法：全密封加料方式：（略）
硅烷冷凝器材質：316L不銹鋼，EP級處理。
換熱面積：0.1m2。
冷媒：采用液氮冷卻。
設計壓力：1Mpa。
接口設計：進口與高壓反應釜連接，出口與硅烷接收鋼瓶連接。
接收鋼瓶材質：316L不銹鋼。
容積：10L，閥門羅達萊克斯DISS632。
工作壓力：≤8.5Mpa。
鋼瓶研磨：粗糙度Ra＜0.5μm。
氣密性測試：150Bar高壓氮氣測漏無氣泡。
鋼瓶內水氧含量要求：使用6N氮氣置換烘干，水分≤0.1ppm，氧分≤0.1ppm。
保護氣：負壓，真空度10pa。
真空泵無油，真空度達到10-2Pa。
冷阱適用于10L鋼瓶，液氮冷卻。
（略）硅烷合成裝置清單
硅烷合成裝置應包含不限于以下設備與材料，如表2所示，整體裝置組裝完成后需進行測漏驗證，所有連接處需通過氦質譜檢漏或壓力衰減測試，確保漏率≤1×10?6?3?6?1Pa·m?0?6/s。
表2硅烷合成裝置清單
（略）
設備名稱：（略）
材質
數量
1
高壓反應釜
316L
1個
2
加料容器
316L，EP
1個
3
硅烷冷凝器
316L，EP
1個
4
接收鋼瓶
316L，EP
2個
5
冷阱
/
2個
6
真空泵
/
1個
7
配料罐
316L
1個
8
針閥、流量計、不銹鋼管線
/
1批
供方負責編制加工圖紙、工藝流程圖、布置圖、設備材料清單、裝配方案等。相關材料出具后由需方進行評審后開始加工工作。在后續實際開展過程中需方可根據實際情況進行調整。
4.2（略）技術要求（略）（略）主要配置技術要求
（略）為用于硅烷粗品制備高純硅烷的提純裝置，（略）包含不限于：脫輕塔、脫重塔、除雜塔，吸附塔、收集容器以及配套連接管道閥門、溫度壓力監控儀表等，物料接觸部分均采用無硅材質，（略）實現模塊化撬裝化，便于搬遷與組裝。系統配置見清單表；示意圖及主要配置要求如圖2。
1）單批次低純硅烷投料量500g~1000g，純化后硅烷產品純度≥99.9999%，質量指標按國標GB/T（略）《電子工業用氣體硅烷》規定執行。
2）材料選擇與兼容性要求
主體材質：采用耐腐蝕、低吸附的316L不銹鋼，內表面需電解拋光（Ra≤0.4μm），避免金屬離子污染。
密封材料：全金屬密封或氟橡膠以耐受硅烷的高反應性。
鈍化處理：管道、閥門、VCR接頭及容器內壁需進行化學鈍化（如EP處理），減少表面活性位點。
3）工藝參數設計要求
溫度控制：精餾塔操作溫度需精確至±0.5℃，采用防爆制冷機器。
壓力控制：正壓精餾（壓力18~22bar），配備高精度壓力傳感器（精度≤0.1%FS）和防爆型調節閥。
回流比：動態可調，適配原料雜質波動。
針對工藝流程中塔功能進行塔設計，應包含脫輕塔、脫重塔、吸附塔及除雜塔，各塔功能如下：
脫輕塔：主要脫去粗硅烷中的氫、氮、甲烷等輕組分氣體；根據所去除氣體設計脫輕塔，達到塔頂通過冷凍收集于輕組分小鋼瓶內，塔釜收集粗硅烷，進入下一級工序。
脫重塔：主要脫去乙烷、乙基硅烷、四氟化硅和少量容劑；根據所去除氣體設計脫重塔，塔頂出料為硅烷和乙烯，塔釜餾出物通過冷凍回收到重組分小鋼瓶內。
吸附塔：主要吸附脫除乙烯類雜質，得到高純的硅烷；
除雜塔：吸附后的高純硅烷進入除雜塔，塔頂高純硅烷進行收集，塔釜為剩余重組分，通過冷凍回收至重組分鋼瓶內，進行下一次純化。
真空泵組：選擇無油干式泵，真空度達到10-6mbar。
4）（略）
集成溫度、壓力、流量、液位等數據進行實時監控與記錄，并與可燃氣體報警器及氫氣報警器相關聯，隨時記錄空間危險氣體濃度值。
預留在線氣相色譜（GC）儀分析取樣連接口和在線水分監測儀連接口。
安全聯鎖：泄漏濃度≥25%LEL時觸發緊急切斷（ESD系統）、氮氣吹掃及自動泄壓。
有惰性保護：全程氮氣覆蓋（氧含量＜1ppm），停機時自動置換。
防爆結構：設備符合ATEX/IECEx標準，防爆等級ExdIIBT4。
圖2（略）裝置示意圖
（略）（略）清單
（略）應包含不限于以下設備與材料，如表3所示，整體裝置組裝完成后需進行測漏驗證，所有連接處需通過氦質譜檢漏或壓力衰減測試，確保漏率≤1×10?6?3?6?1Pa·m?0?6/s。
表3（略）配置清單
（略）
設備名稱：（略）
材質
數量
運行工況
1
脫輕塔釜
316L，EP
1
22bar
2
脫重塔釜
316L，EP
1
21bar
3
除雜塔釜
316L，EP
1
18bar
4
脫輕塔（帶填料）
316L，EP
1
22bar
5
脫重塔（帶填料）
316L，EP
1
21bar
6
除雜塔（帶填料）
316L，EP
1
18bar
7
脫輕塔頂冷凝器
316L，EP
1
22bar
8
脫重塔頂冷凝器
316L，EP
1
21bar
9
除雜塔頂冷凝器
316L，EP
1
18bar
10
吸附柱（帶吸附劑，帶加熱）
316L，EP
3
21bar
11
控制柜
防爆，PLC用
1
/
13
冷熱一體機
/
1
/
14
進料流量計
/
10
備用數量
15
壓力傳感器
/
8
備用數量
16
真空泵組

1

17
管線、VCR接頭、閥門等配件
/
1批次

供方負責編制加工圖紙、工藝流程圖、布置圖、設備材料清單、裝配方案等。相關材料出具后由需方進行評審后開始加工工作。在后續實際開展過程中需方可根據實際情況進行調整。
4.3技術服務技術要求技術服務內容提供符合硅烷合成及分析試驗的場地、水、電、壓空等試驗基礎條件；提供天然四氟化硅、還原劑、溶劑、高純惰性氣體、輔助材料、防護用品以及對上述材料的貯存和管理服務；提供試驗測漏、消漏、鋼瓶前處理等服務；負責試驗所產生廢物的處理；提供試驗期間安全、環保等管理服務；提供倒班輔助試驗人員至少3人。
試驗期間安全、環保等管理服務；實驗場地、實驗設備加工、（略）架設、連接管道、管路清洗、實驗試劑供應、實驗過程配合輔助、原料和過程品及產品的分析檢測、實驗所生產的廢液處理等實驗技術服務事項均由供方提供、采購和處理。供方根據圖1、圖2中的工藝流程圖結合采購設備，（略）的PLC（略），供方配合出具質量檢測等相關文件。供方應配合需方完成整個采購物項及驗收工作，供方應編制需方需要的本項目相關的各類文字材料，配合提供相應的證明文件。（略）管理服務
供方負責為需方提供可開展硅烷試驗的公用工程及配套安全、環保服務。其中提供試驗用場地、液氮、水、電、惰性氣體等，試驗場地包括硅烷合成與純化試驗場地，場地為甲類廠房，占地50m2以上，場地高度8m以上，分析檢測場地等，可提供220V、380V電源，電路負載20kW以上，配防爆電源；可提供壓力為0.6~1.5MPa以上的惰性氣體氣源，場地溫度在20-35℃之間。
供方負責在上述實驗場地內開展實驗設備安裝、管路架設、管路連接及分析檢測實驗等工作。供方根據圖1-圖2中的工藝流程圖等資料采購試驗過程中必要的閥門、管件等。
供方負責實驗用試劑及材料的籌備及貯運，實驗設備的定期維護保養，實驗過程中定時巡檢，供方負責設備的清洗清潔，安裝調試等，（略）的建設與調試。供方負責需方開展試驗過程中安全工作。
供方負責監管并處理實驗過程中產生的廢氣、廢液及固體廢物。廢氣主要是吹氣、脈沖排氣等。廢液主要成分為有機廢液、含氟鹽類溶液等；固體廢物包括使用過的勞保用品。
標準試劑包括還原劑、溶劑、四氟化硅，其標準規格及數量要求如表4所示。提供的標準試劑應符合本文件中的要求，如購買不到，須與需方協商解決。
表4標準試劑清單
試劑名稱：（略）
試劑成分
數量kg
還原劑1
≥97%
20
溶劑
分析純
500
四氟化硅
≥99.99%
50
注：根據實驗需求可進行調整，包含但不限于以上試劑清單。
實驗過程中需用到的勞保用品均由供方負責提供。勞保用品清單如表5所示。

表5勞保用品清單
（略）
勞保用品名稱：（略）
規格
數量
1
全面罩
--
5件
2
防毒化工口罩
--
5件
3
防靜電服
--
10件
4
護目鏡
--
10副
5
耐酸堿手套
--
20雙
6
耐酸堿鞋
--
20雙
7

橡膠手套
（略）50只/包
10包
8
（略）50只/包
10包
注：根據實驗需求可進行調整，包含但不限于以上清單。
供方應具備表4~表6所列試劑及材料的貯存條件和使用管理資質，由供貨方負責對實驗試劑及材料（略）域進行全面安全監管，防火、防爆、防漏電，保持良好的通風環境。供方全權負責上述全部過程人員的安全等事宜。
供方負責組人員記錄、處理實驗數據。包括手動記錄原始數據、統計圖片數據等信息，最終以圖片和表格文件的形式交付。
（略）試驗技術服務
供方負責配合需方開展硅烷合成試驗、純化試驗及分析方法的建立和產品及過程品分析等相關工作；供方配合需方按工藝流程圖進行工藝試驗，研究工藝參數，如還原劑與容積配比，四氟化硅通氣流量，反應時間等，純化工藝中的純化效率，純化時間等等，分析檢測的方法建立和產品過程品的檢測，（略）（略），（略）密封性，并具有氮氣/氦氣吹掃功能，（略）預留接口，與氣相色譜進口、出口連接；通過試驗技術服務形成具體工藝參數，輸出工藝規程。
供方負責配合需方開展配套輔助試驗的相關工作；供方配合需方開展鋼瓶前處理工藝研究，試驗過程及分析產生的三廢吸收處理工藝研究，形成配套的工藝設備及參數，輸出工藝規程。
供方負責本部分工作中的場地、材料、試劑、人力等。
5采購執行要求5.1進度要求
表6進度要求

（略）
工作節點
進度要求
1
合同簽訂
T0
2
硅烷合成、純化裝置加工方案（研制方案及圖紙）
T0+1月
3
裝置安裝調試完成
T0+3月
4
完成全部實驗
T0+5月

5.2質量保證重要零部件加工過程中應有質量跟蹤卡或相關證明文件。所有不符合項均需提交書面報告，提出處理意見交業主認可后再進行相關處理；制造廠應將設計、制造、檢查、試驗等有關文件資料妥善保管，保管期為10年，需方有權隨時查驗。6驗收標準6.1供方提供材料必須滿足以上技術要求，并按技術要求逐一驗證；
6.2其他驗收項目及驗收要求，具體如下表所示：



表7驗收要求
（略）
驗收項目
驗收要求
1
合格證，保修卡，使用說明書，
含設計圖紙、材質單、合格證明及使用說明書等
2
材料外觀
儀器外表平整、字跡清晰、表面涂覆色均勻，沒有明顯劃傷、裂紋、起泡等現象，各調節旋鈕、按鍵正常工作顯示完整清晰。
3
配置配件
1.供方提供配置配件清單；
2.配置配件由供方進行安裝，（略）正常運轉。
4
氦質譜檢漏測試
漏率≤1×10?6?3?6?1Pa·m?0?6/s。
5
單批次處理能力
反應裝置：單批次收集到的硅烷50g~70g。
純化能力：單批次硅烷投料量大于等于500g~1000g。
6
技術服務
完成純度≥99.9999%的1公斤硅烷-28產品制備。
（質量指標按國標GB/T（略）《電子工業用氣體硅烷》規定執行）

7（略）內通用設備和非標設備均設置質保期，時間為1年，質保期自雙方簽署驗收合格報告之日開始計算。在質保期內，除不可抗力和需方技術人員使用明顯操作不當外，一切故障都有供方提供免費維修。如供方所交付設備、配件等材料與協議規定的名稱：（略）


（略）
2025年06月20日
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