部分檢測實(shí)驗(yàn)服務(wù)項(xiàng)目：

• 材料：物理性能、化學(xué)分析、生物實(shí)驗(yàn)

• 半成品、成品的可靠性測試

• 配方分析、配方還原

• 失效分析

• 產(chǎn)品認(rèn)證

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潔凈室各項(xiàng)指標(biāo)的

檢測方法、程序規(guī)則、判定標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室檢測主要分為：

一、風(fēng)量和風(fēng)速的檢測

二、靜壓差檢測

三、潔凈度測定

四、微生物粒子檢測

五、安裝后高效空氣過濾器的檢漏

六、污染泄漏測試

七、氣流流型試驗(yàn)

八、自凈時(shí)間測定

九、溫度及相對(duì)濕度檢測

十、照度檢測

十一、噪聲檢測

十二、防靜電地面導(dǎo)靜電性能測定

一、風(fēng)量和風(fēng)速的檢測

風(fēng)量和風(fēng)速的檢測必須首先進(jìn)行，凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量和風(fēng)速條件下獲得。

01

測前準(zhǔn)備工作

風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙(如過濾器有無被堵、擋)，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，并且必須實(shí)際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。

02

單向流(層流)潔凈室的風(fēng)量測定

垂直單向流(層流)及水平單向流(層流)潔凈室，目前均采用截面平均風(fēng)速與截面面積的乘積來計(jì)算風(fēng)量，關(guān)于截面的取法和測點(diǎn)的布置見下表

03

非單向流（亂流）潔凈室的風(fēng)量測定

非單向流(亂流)潔凈室的風(fēng)量可以用風(fēng)管法和風(fēng)口法兩種方法量測，關(guān)于截面的取法和測點(diǎn)的布置見下表

二、靜壓差檢測

此項(xiàng)檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或負(fù)壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)外氣流間的相互影響。

1、檢測要求

（1）靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。

（2）在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測到直通室外的房間。

（3）測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。

（4）所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。

2、檢測步驟

（1）先關(guān)閉所有的門。

（2）用微差壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。

（3）記錄所有數(shù)據(jù)。

3、合格標(biāo)準(zhǔn)

按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。

（1）不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。

（2）潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差，不應(yīng)小于10Pa。

（3）對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5 級(jí)（100 級(jí)）的單向流潔凈室在開門時(shí)，門內(nèi)0.6m 處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。

（4）若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。

三、潔凈度測定

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）中規(guī)定如下：

01

檢測規(guī)則

（1）測定潔凈度的最低限度采樣點(diǎn)數(shù)按下表的規(guī)定確定。每點(diǎn)采樣次數(shù)不小于3 次，各點(diǎn)采樣次數(shù)可以不同。

注：表中面積的含義是：對(duì)于單向流（層流）潔凈室，是指送風(fēng)面面積，對(duì)于亂流潔凈室，是指房間面積。

（2）測定潔凈度的最小采樣量按下表的規(guī)定確定。

（3）對(duì)于單向流潔凈室，采樣口應(yīng)對(duì)著氣流方向，對(duì)于亂流潔凈室，采樣口宜向上。采樣速度均應(yīng)盡可能接近室內(nèi)氣流速度。也即參考“等速采樣”。

（4）潔凈度測點(diǎn)布置原則是：

? ? ? ?多于5點(diǎn)時(shí)分可分層布置，但每層不少于5點(diǎn)；5點(diǎn)或5點(diǎn)以下時(shí)，可布置在離地0.8m高平面的對(duì)角線上（如下圖），或該平面上的兩個(gè)過濾器之間的地點(diǎn)，也可以在認(rèn)為需要布點(diǎn)的其他地方。

02

數(shù)據(jù)整理

室內(nèi)潔凈度按公式計(jì)算室平均含塵濃度N 和各測點(diǎn)平均含塵濃度的標(biāo)準(zhǔn)誤差。

03

評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)

如測定時(shí)的狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，則以其級(jí)別上限做為評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)。如測定時(shí)為空態(tài)或靜態(tài)，則動(dòng)態(tài)時(shí)粒子數(shù)肯定會(huì)高，所以，如用靜態(tài)檢測代替動(dòng)態(tài)檢測則粒子數(shù)會(huì)偏小，有時(shí)可以用靜態(tài)粒子數(shù)的3～5 倍來估計(jì)動(dòng)態(tài)情況，當(dāng)然這也僅是個(gè)經(jīng)驗(yàn)參考值。

04

?注意事項(xiàng)

測定時(shí)進(jìn)入潔凈室人員要穿潔凈服（有風(fēng)淋室時(shí)需經(jīng)風(fēng)淋）在室內(nèi)盡量處于下風(fēng)處并靜止少動(dòng)，最多能進(jìn)二人。粒子計(jì)數(shù)器一般均有一個(gè)開機(jī)后預(yù)熱穩(wěn)定過程（時(shí)間因機(jī)型而異）注意按儀表說明書操作。

?一般粒子計(jì)數(shù)器均有“粒子校準(zhǔn)”這一旋紐，在使用前必須校準(zhǔn)，使用一段時(shí)間（例如連續(xù)使用0.5～1h）后均需進(jìn)行檢查。嚴(yán)禁故意將靈敏度調(diào)低的不正當(dāng)做法。

每個(gè)測點(diǎn)測完后需要移機(jī)（或移動(dòng)采樣口）時(shí)，要有一個(gè)穩(wěn)定過程，一般為1～5 分鐘，也可以將移機(jī)后前幾次打印數(shù)據(jù)棄去。

有研究發(fā)現(xiàn)打印機(jī)本身的動(dòng)作具有一定的產(chǎn)塵量，故在測量高級(jí)別潔凈室時(shí)，要考慮打印機(jī)紙張發(fā)塵的影響。建議選取可儲(chǔ)存數(shù)據(jù)的儀器，實(shí)驗(yàn)后再把結(jié)果打印出來。或?qū)⑦B線延長，將打印機(jī)置于被測潔凈室外。

四、微生物粒子檢測

? ?空氣中懸浮微生物的測定有多種，但其測定的基本過程都是經(jīng)過捕集-培養(yǎng)-計(jì)數(shù)的過程，目前普遍采用的是浮游菌和沉降菌的測試方法，浮游菌測試方法是通過收集懸浮在空氣中的生物性粒子于專門的培養(yǎng)基，經(jīng)若干時(shí)間在適宜的生長條件下讓其繁殖到可見的菌落進(jìn)行計(jì)數(shù)，以此來判定潔凈環(huán)境內(nèi)單位體積空氣中的活微生物數(shù)。

沉降軍測試方法是通過重力自然沉降原理收集在空氣中的生物粒子于培養(yǎng)皿中的培養(yǎng)基上，經(jīng)若干時(shí)間，在適宜的條件下讓其繁殖到可見的菌落進(jìn)行計(jì)數(shù)，以平板培養(yǎng)皿中的菌落數(shù)來判定潔凈環(huán)境內(nèi)的活微生物數(shù)。

01

檢測要求

（1）檢測前，被測潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài)，其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi)；被測試的潔凈室（區(qū)）應(yīng)已進(jìn)行過消毒；同時(shí)，潔凈室的測試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求，并在測試報(bào)告中注明其測試狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）。

（2）測試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過兩個(gè)人。

（3）凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間對(duì)單向流如5 級(jí)（100 級(jí)）潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_(tái)不得少于10min；對(duì)非單向流如7 級(jí)（10000 級(jí)）、8 級(jí)（100000 級(jí)）的潔凈室不得少于30min。

（4）采樣點(diǎn)的布置及要求：

①浮游菌測試時(shí)，采樣點(diǎn)位置可以與懸浮粒子測試點(diǎn)相同。工作區(qū)測點(diǎn)位置距地面0.8～1.5m（略高于工作面）；送風(fēng)口測點(diǎn)位置距送風(fēng)面30cm 左右。根據(jù)需要可在關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處增加測點(diǎn)。采樣點(diǎn)的布置應(yīng)力求均勻，避免采樣點(diǎn)在某局部區(qū)域過于集中，某局部區(qū)域過于稀疏。浮游菌測試的最少采樣點(diǎn)數(shù)為日常監(jiān)測及環(huán)境驗(yàn)證兩種情況，見下表：

②沉降菌測試時(shí)，采樣點(diǎn)的位置可以與懸浮粒子測試點(diǎn)相同。工作區(qū)采樣點(diǎn)的位置距地面0.8-1.5m（略高于工作面）；根據(jù)需要可在關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處增加測點(diǎn)。采樣點(diǎn)的布置應(yīng)力求均勻，避免采樣點(diǎn)在某局部區(qū)域過于集中，某局部區(qū)域過于稀疏。沉降菌測試的最少采樣點(diǎn)數(shù)可見下表：

02

檢測方法

（1）浮游菌的測試

①首先應(yīng)對(duì)測試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒，采樣器進(jìn)入被測房間前先用消毒房間的消毒劑滅菌，用于100 級(jí)潔凈室的采樣器宜一直放在被測房間內(nèi)；用消毒劑擦凈培養(yǎng)皿的外表面，把采樣器的頂蓋、轉(zhuǎn)盤以及罩子內(nèi)外面消毒干凈；采樣口及采樣管在使用前必須高溫滅菌。

②采樣者應(yīng)穿戴與被測潔凈室相應(yīng)的潔凈服，在轉(zhuǎn)盤上放入或調(diào)換培養(yǎng)皿前，雙手用消毒劑消毒。

③儀器經(jīng)消毒后先不放入培養(yǎng)皿，開動(dòng)真空泵抽氣，使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)，時(shí)間不少于5min,并調(diào)好流量、轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。

④關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。

⑤置采樣口于采樣點(diǎn)后，依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器，根據(jù)采樣量選定采樣時(shí)間。

⑥全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于30～35℃恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時(shí)間不小于48h。

⑦用肉眼直接計(jì)數(shù)，然后用5～10 倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若平板上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落重疊，分辨時(shí)仍以兩個(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。

（2）沉降菌的測試

①首先也是對(duì)測試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒滅菌，在37℃，48h 恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)觀察，確信無菌后方可使用。

②一般用φ90mm 的沉降平皿，注入20ml 培養(yǎng)基，放在測點(diǎn)處，開蓋暴露30min，將培養(yǎng)皿蓋蓋上后倒置。然后在30～35℃恒溫培養(yǎng)箱中經(jīng)48h 培養(yǎng)為用肉眼計(jì)菌落數(shù)，并記錄生成的菌落數(shù)CFU(Colony forming units)，然后用5～10倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若培養(yǎng)皿上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落重疊，分辨時(shí)仍以兩個(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。由于菌落實(shí)驗(yàn)操作程序較為繁多，如有可能采用增加空白器皿對(duì)照法以減少偶然誤差可能性，另外，由于條件限制，有時(shí)測量者將培養(yǎng)皿放在潔凈室地面上，這種方法會(huì)造成較大誤差，建議做專用支架來保持測定高度。

（3）合格標(biāo)準(zhǔn)

國內(nèi)外有關(guān)浮游菌和沉降菌測定的標(biāo)準(zhǔn)詳見下面兩張表：

國內(nèi)外有關(guān)浮游菌測定的標(biāo)準(zhǔn)

五、安裝后高效空氣

過濾器的檢漏

高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn)（其檢測方法如DOP 試驗(yàn)、NaCl 試驗(yàn)、油霧試驗(yàn)等），并提供合格證（含性能試驗(yàn)結(jié)果）。

對(duì)于5 級(jí)（100 級(jí)）以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現(xiàn)場應(yīng)再次進(jìn)行高效過濾本體及其正確安裝狀態(tài)進(jìn)行泄漏試驗(yàn)。

對(duì)于6 級(jí)及以下的生物潔凈室也用此方法檢漏。而在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中（0.1μm，1 級(jí)），由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6 級(jí)（1000級(jí)）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP 檢漏試驗(yàn)。不足此處為問題不足。

1、檢測要求

一般采用粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢漏，被檢高效過濾器必須已檢測過風(fēng)量，并在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%～120%之間運(yùn)行。實(shí)測時(shí)很多設(shè)計(jì)風(fēng)量不到過濾器額定風(fēng)量的80%，由于過濾器在低風(fēng)速下泄漏比例會(huì)加大，數(shù)據(jù)偏安全，有時(shí)不必再加大風(fēng)量。

對(duì)于被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合如下要求。對(duì)受控粒徑≥0.5μm 的濃度，必須大于等于3.5x104pc/L；對(duì)受控粒徑≤0.5μm 的濃度，必須大于等于3.5x106～107pc/L。

2、檢測方法

采用掃描法對(duì)高效過濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測，檢測點(diǎn)應(yīng)距離被測表面20～30mm，測頭以5～20mm/s 的速度移動(dòng)，對(duì)被測過濾器整個(gè)斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描，粒子計(jì)數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。

3、評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)

由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測得泄漏的濃度換算成穿透率，高效過濾器不應(yīng)大于出廠合格穿透率的兩倍，對(duì)于D 級(jí)超高效過濾器不應(yīng)大于出廠合格穿透率的3倍。

六、污染泄漏測試

此項(xiàng)測試是為考慮與國際標(biāo)準(zhǔn)接軌而規(guī)定的。它要求，有孔洞相通不同潔凈度等級(jí)的相鄰潔凈室，其洞口處應(yīng)有合理的流向，且其風(fēng)速應(yīng)大于0.2m/s。

七、氣流流型試驗(yàn)

風(fēng)量和風(fēng)速的檢測必須首先進(jìn)行，凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量和風(fēng)速條件下獲得。

01

測點(diǎn)位置

風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙(如過濾器有無被堵、擋)對(duì)于單向流潔凈室，在每個(gè)所測截面上測點(diǎn)間距為0.2～1m，垂直單向流要取四個(gè)截面：潔凈室縱剖面，橫剖面及距地0.8m、1.5m 兩個(gè)水平面。水平單向流要求五個(gè)截面：潔凈室縱剖面、工作區(qū)水平面、房間中心和距離送、回風(fēng)0.5m的3 個(gè)橫剖面。

對(duì)非單向流需要取三個(gè)測點(diǎn)截面：具有代表性的送、回風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面。，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，并且必須實(shí)際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。

02

測定方法

用發(fā)煙器或懸掛細(xì)絲線的方法逐點(diǎn)和觀察記錄氣流流向；用量角器測定氣流流向的偏離角度。在每個(gè)截面的測點(diǎn)布置圖上標(biāo)出流向。

03

判定標(biāo)準(zhǔn)

工作區(qū)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度最好不大于14o 應(yīng)給出氣流流型圖，并給出分析結(jié)果。

八、自凈時(shí)間測定

1、以大氣塵為基準(zhǔn)測量

以大氣塵為基準(zhǔn)測量時(shí)，必須潔凈室停止運(yùn)行一段時(shí)間（條件允許時(shí)可開門開窗），待空氣中含塵濃度與大氣接近時(shí)，然后開機(jī)，定時(shí)讀數(shù)。直到濃度達(dá)到最低穩(wěn)定值為止，這一段時(shí)間即為自凈時(shí)間。

2、以人工塵為基準(zhǔn)則量

以人工塵（例如巴蘭香、香煙）為基準(zhǔn)則在潔凈室中央1.8m以上的高度發(fā)煙1～2min 即停止，再穩(wěn)定1min，然后開機(jī)重復(fù)上條方法檢測。

3、合格標(biāo)準(zhǔn)

實(shí)測自凈時(shí)間如不大于由初始濃度、穩(wěn)定下限濃度、實(shí)際換氣次數(shù)，計(jì)算得出的理論計(jì)算濃度的1.2倍即為合格。

九、溫度及相對(duì)濕度

檢測

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）中規(guī)定如下：

01

檢測要求

（1）測定前，凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運(yùn)行24h 以上。

（2）根據(jù)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表，并經(jīng)過效驗(yàn)標(biāo)定合格。

02

數(shù)據(jù)整理

（1）測點(diǎn)距地面0.8m，距外墻應(yīng)大于0.5m，也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地不同高度的幾個(gè)平面上。

（2）根據(jù)溫濕度波動(dòng)范圍要求，檢測宜連續(xù)進(jìn)行8～48h，每次讀數(shù)間隔不大于30min。

（3）對(duì)沒有恒溫要求的房間，溫度僅測房間中心1 個(gè)點(diǎn)即可。

（4）對(duì)有濕度波動(dòng)要求的區(qū)域，測點(diǎn)應(yīng)放在送、回風(fēng)口處或有代表性的地點(diǎn)。其測點(diǎn)數(shù)按下表確定：

03

合格標(biāo)準(zhǔn)

室溫波動(dòng)范圍按各測點(diǎn)的各次溫度中，偏差控制溫度的最大值整理成累計(jì)統(tǒng)計(jì)曲線，若90%以上測點(diǎn)偏差值在室溫控制范圍內(nèi)，為符合設(shè)計(jì)要求，反之為不合格。相對(duì)濕度波動(dòng)可按溫度波動(dòng)范圍的規(guī)定進(jìn)行。

十、照度檢測

01

檢測要求

室內(nèi)照度測定必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源光輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行（對(duì)熒光燈必須有100h）。

02

檢測方法

（1）測點(diǎn)平面離地面0.85m，按間距1～2m布點(diǎn)，測點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求要求相同。

（2）記錄，在筒圖上設(shè)測量位置，記錄實(shí)測照度值并計(jì)算總的平均照度。

（3）照度測定一般僅測定除局部照明之外的一般照明。

03

檢測儀器：便攜式照度計(jì)。

符合設(shè)計(jì)要求或符合GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中對(duì)潔凈室（區(qū)）的照度值的明確規(guī)定（該規(guī)范中的表9.2.3）。潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。

十一、噪聲檢測

噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)，一般情況下只檢測A 聲級(jí)的數(shù)據(jù)，必要時(shí)測倍頻程聲壓級(jí)。

1、檢測方法

（1）檢測點(diǎn)布置，當(dāng)面積≤50m2,僅測房間中心一個(gè)點(diǎn)；當(dāng)房間面積較大時(shí)，每增加50m2增加1 個(gè)點(diǎn)，測點(diǎn)距地面1.1m。

（2）有條件時(shí)，宜測量潔凈室靜態(tài)工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。

2、合格標(biāo)準(zhǔn)

符合設(shè)計(jì)要求或按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于65dB(A)。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中表4.4.2的規(guī)定。

十二、防靜電地面

導(dǎo)靜電性能測定

01

檢測設(shè)備

采用符合精度要求的高阻計(jì)。

02

檢測方法

在測試表面上選擇比較有代表區(qū)域的兩個(gè)點(diǎn)，用導(dǎo)線把高阻計(jì)和兩個(gè)銅圓柱形電極連接起來進(jìn)行測量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按下圖所示的測試裝置測量。

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