1、項目概況

本項目建設內容為光刻機雙工件臺及其他半導體設備及零部件的生產基地項目，擬購置先進生產設備、檢測設備及相應配套設施，實現光刻機雙工件臺的產業化、其他半導體設備及零部件（晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤、精密運動系統等）的產能擴充。項目建成后，將滿足市場及客戶快速增長的需求，提升公司的盈利能力，符合公司的戰略規劃。

2、項目必要性

（1）高端集成電路設備及裝備國產化需求迫切

集成電路產業鏈主要為設計、制造、封測以及上游的材料和設備。集成電路設備通常可分為前道工藝設備（晶圓制造）、后道工藝設備（封裝與檢測）等。因生產工藝復雜，工序繁多，生產過程所需要的設備種類多樣。

在晶圓制造中，由于光刻、刻蝕、沉積等流程在芯片生產過程中不斷循環往復，是芯片前端加工過程的三大核心技術，其設備價值也最高。集成電路設備行業存在較高的資金壁壘，盡管國內集成電路產業投資大增，但國內設備廠商的供應能力嚴重不足，缺乏成套設備的供應能力。國產高端裝備雖然實現了從無到有的重大突破，但仍面臨成套性、穩定性欠缺等困境。本項目能夠推進集成電路設備的升級，滿足我國巨大的集成電路產業市場需求，實現進口替代，提升我國芯片行業核心競爭力。

（2）“產學研用”體系的創新實踐

集成電路設備行業存在較高的技術壁壘，融合了基礎理論、基礎材料、器件物理、計算機、自動控制、光學、化學、真空技術、精密機械、設備制造、統計分析、計量學、環境超潔凈控制等科技領域的最新成就，是基礎研究和應用研究緊密結合的產物。

歐洲、美國、日本的集成電路設備整機企業受益于與大學、研究機構等的深度合作以及關鍵零部件的配套產業鏈。其中最為典型的是荷蘭的 ASML 公司，全歐洲數十家大學、技術研發單位和零配件供應商在支撐其光刻機的研發和生產。公司承接了清華大學原發技術積累，堅持核心技術研發及產品自主研制，本項目旨在將“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項中積累的尖端技術產業化，搭建“產學研用”體系，培育高校科技成果轉化的軟實力。

3、項目可行性

（1）項目具備技術可行性

公司以光刻機雙工件臺為核心，并以該產品的超精密機電系統設計技術、超精密位移測量技術及超精密控制技術為基礎，經過多年的積累進而衍生出多項超精密測控裝備整機及部件產品相關的核心技術，積累了多項專利，具備較強的技術實力。因此，該募投項目建設具備技術可行性。

（2）項目具備市場可行性

近年來，在消費電子、移動互聯網、汽車電子、工業控制、醫療電子等市場需求快速提升和國家政策支持的驅動下，中國集成電路行業快速發展。受益于國內晶圓產能的增長及半導體設備國產化率的提升，項目產品的市場前景良好。此外，公司在半導體設備行業深耕多年，已積累了一批優質的客戶資源，如上海集成、燕東微電子、上海微電子等，客戶對公司的品牌、產品品質和技術認可度較高，公司具備市場競爭優勢。

（3）項目具備人才可行性

經過多年的發展，公司已建立了完善的人才體系，在研發、設計、制造和銷售方面，不斷吸引優秀人才、培養專業人才，使得公司具備人才競爭優勢。

4、項目投資概算

本項目總投資 49,000.00 萬元，其中使用自有資金 12,500.00 萬元。

5、項目土地情況

項目選址位于北京經濟技術開發區路東區 C8M3 地塊，面積 20,000.6 平方米，屬于工業用地。華卓運動于 2017 年 8 月 15 日取得了“京（2017）開不動產權第 0000011 號”不動產權證書。華卓精科吸收合并華卓運動，依法繼承北京經濟技術開發區路東區 C8M3 地塊及其在建工程，于 2019 年 4 月 15 日取得了“京（2019）開不動產權第 0002073 號”不動產權證書。

6、項目實施進度

項目建設期擬定 3.5 年，包括前期準備、建筑及裝修工程、設備購置及安裝調試、員工招聘與培訓、試生產運行等。

7、項目環境保護情況

本項目產生的污染物主要有廢水、廢氣、固體廢棄物、噪音，具體處理措施如下：

廢水處理：項目污水排放執行《水污染物排放標準》（DB11/307-2013）“排入公共污水處理系統的水污染物排放限值”中的相關標準。

廢氣處理：食堂油煙須經油煙凈化裝置處理后排放，排放標準執行《飲食業油煙排放標準》（試行）（GB18483-2001）中的有關規定。

廢物處理：固體廢棄物須按照《中華人民共和國固體廢物污染環境防治法》中的相關規定分類、貯存、處理，并盡可能回收利用。其中廢潤滑油（HW08）、廢乳化液/切削液（HW09）等屬危險廢物，須委托有資質的單位進行處置，危險廢物的貯存應遵循《危險廢物貯存污染控制標準》中的有關規定

噪音處理：噪聲主要為磨床及研磨平臺作業、切割作業、組裝零部件過程中產生，經廠房和圍墻的噪聲、距離的衰減后排放達到《工業企業廠界環境噪聲排放標準》（GB12348-2008）的 3 類標準。

通過采取上述治理措施，本項目實施后污染物經處理后均能達到國家和園區規定的標準。

8、本項目與北京華卓精科科技股份有限公司現有主要業務、核心技術之間的關系

公司長期專注于納米級超精密測控技術，是國內領先的集成電路制造裝備及其核心部件、精密/超精密運動系統供應商。本項目將推進公司光刻機雙工件臺的產業化、其他半導體設備及零部件的產能擴充，將顯著提升公司生產、銷售及技術服務水平。

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