申購單主題磁控濺射靶位升級
申購單位：（略）
申購備注專業(yè)物理實驗室2024年修購實驗設(shè)備采購
設(shè)備名稱：（略）
品牌世華尖鋒
（略）CK-4（500*600*650mm）
數(shù)量1.0
報價類型
售后服務(wù)免費上門安裝保修2年
規(guī)格配合提拉爐使用：1.適用于2英寸、厚度6.35mm的靶材2.超高真空結(jié)構(gòu)，全金屬密封。3.安裝在DN100CF法蘭上，帶有氣動擋片和放污染靶罩4.帶有靶上進氣和勻氣環(huán)5.靶頭可傾斜，可以在真空室外部在線調(diào)節(jié)靶頭角度無需破壞真空6.擁有多種濺射模式的磁場組合，包括大速率模式、超薄膜模式、磁性材料模式、高利用率模式、均衡模式等7.間接水冷，磁鐵同冷卻水無接觸8.（略）電源轉(zhuǎn)換盒，一臺電源可以輪流供電給三支靶9.貨到采購方現(xiàn)場后，供貨方派員安裝調(diào)試并進樣現(xiàn)場驗收10.質(zhì)保期：現(xiàn)場驗收合格后2年