“一批
(略)(略)拆裝搬遷調試與維護”項目單一來源采購公示
一、項目概況
(略)(略)(PECVD)是一種用于制備二維半導體材料的專用設備,
(略)氣體、高低真空、高溫加熱、等離子體產生等多方面的精確控制,具有較高的技術要求。
二、項目內容
申請單位:
(略)
項目名稱:
(略)
項目內容為一批
(略)(略)拆裝搬遷調試與維護
擬定供應商(名稱:
(略)
參考報價
(略)
單一來源采購理由多該批
(略)為:PECVD-BTF-1200C-III-500A等,本次搬遷涉及多批該設備,由安徽貝
(略)生產,現從江南大學先進技術研究院搬至江
(略)學院,
(略)進行拆裝搬遷調試與維護,對PECVD的加熱爐膛和熱偶﹑MFC氣路連接﹑PECVD的射頻電源﹑無油機械泵等進行維護保養,
(略)的穩定性和高效運行,
(略)的原廠技術人員完成。
論證專家姓名職稱工作單位:
(略)
(略)學院
(略)學院
(略)工程學院
備注
三、公示期為:
(略)—
(略)提示:任何單位:
(略)
聯系電話:
(略)
2024年7月16日
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