申購單主題：三口電子束蒸發源申購單位：（略）
申購備注：
設備名稱：（略）
三口電子束蒸發源AP-instrumentsEBV3TS-C25061國內含稅價/人民幣
規格三口電子束蒸發源一套電子束蒸發源安裝于腔體上，可以前后伸縮，（略）不破真空的情況下拆裝蒸發源。包含：1.標準三口電子束蒸發源一套；2.電子束蒸發源電源及線纜一套；3.線性位移器一套，安裝法蘭DN40CF，行程100mm，手動；4.變徑三通一套，DN40CF轉DN16CF；5.VATCF40手動插板閥一套；6.DN16CF全金屬角閥一套；7.DN63CF轉DN40CF轉接一套。電子束能量0-1500eV（取決于所用高壓電源）發射電流200mA（取決于所用高壓電源）燈絲電流1.8-2.2A（典型值，最大不超過2.4A）最高烘烤溫度200℃最高支持材料數量3蒸發棒直徑1-4mm（其他尺寸需定制）坩堝容量0.5cc束斑直徑12mm真空部分長度240mm真空部分直徑35mm靶材移動距離25mm安裝法蘭DN40CF（2.75“OD）*換樣方式：（略）
中標供應商單價初選理由
（略）198500最低價原則