華中科技大學(xué)2025年8月政府采購(gòu)意向-（略）詳細(xì)情況
（略）
項(xiàng)目所在采購(gòu)意向：華中科技大學(xué)2025年8月政府采購(gòu)意向
采購(gòu)單位：（略）
采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)：（略）
預(yù)算金額：400.000000萬(wàn)元(人民幣)
采購(gòu)品目：A（略）工藝試驗(yàn)機(jī)
采購(gòu)需求概況："（略）1臺(tái)。主要規(guī)格參數(shù)：1、（略）包括進(jìn)口分子泵(抽速≥650L/s)和進(jìn)口渦旋干泵(抽速≥3.1L/s)，腔體與分子泵之間配有氣動(dòng)閘板閥，本底真空度優(yōu)于9E-7Pa；2、靶臺(tái)：靶材尺寸及數(shù)量：φ2英寸×3個(gè)；每個(gè)靶材均可實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)速率≤10RPM，由電機(jī)控制；可在公轉(zhuǎn)方向上擺動(dòng)掃描，以實(shí)現(xiàn)激光對(duì)靶材的均勻燒蝕；3、配備進(jìn)口RHEED電子槍?zhuān)娮訕屇芰孔罡呖蛇_(dá)30KeV，工作氣壓最高可達(dá)0.4Torr（50Pa）；4、配備進(jìn)口ICP離子源，RF電源功率大于500w，流量計(jì)10sccm；5、質(zhì)保：自驗(yàn)收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費(fèi)保修、所有軟件免費(fèi)保修升級(jí)、電話(huà)報(bào)修后48小時(shí)上門(mén)服務(wù)、48小時(shí)內(nèi)排除故障。"
預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間：2025-08
備注：
本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位：（略）