為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息，根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將華中科技大學(xué)2025年08月政府采購意向公開（第二批）如下：
（略）采購項目名稱：（略）
1（略）YX（略）A（略）物理光學(xué)儀器開展超快時序光學(xué)測量的光譜儀設(shè)備，包括條紋變像管，高靈敏度CCD探測器和單色儀等部分，具體參數(shù)要求為：光譜相應(yīng)范圍覆蓋300-800nm；時間分辨率優(yōu)于3ps；兼具快掃（50-100MHz）和慢掃(0.1-1MHz)兩種模式（略）年08月
2FIB（略）YX（略）A（略）顯微鏡"擬購FIB（略）1套。主要技術(shù)指標：1、離子束鏡筒：液態(tài)Ga離子源；分辨率≤3.（略）@30kV；加速電壓0.5-30KV（10V步進）；束流1pA-100nA；壽命≥3000μAh；支持實時邊切邊看。2、電子束鏡筒：肖特基場發(fā)射燈絲；分辨率≤0.（略）@15KV、≤1.（略）@1KV（非減速模式）；加速電壓0.02-30KV（著陸電壓20eV-30keV）；束流穩(wěn)定性優(yōu)于0.2%/h。3、探測器：樣品室+鏡筒內(nèi)獨立二次電子探測器（鏡筒內(nèi)無需偏壓）、環(huán)形背散射探測器、2個紅外/彩色CCD相機；支持雙通道同時成像。4、能譜儀：SDD硅漂移探測器（100mm2，超薄窗）；元素范圍Be4-Cf98；能量分辨率MnKa≤127eV、FKa≤64eV、CKa≤56eV（@130,000cps，符合ISO15632:2012）；軟件控制自動伸縮。5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
3（略）YX（略）A（略）工藝試驗機"（略）1套。主要技術(shù)指標：1、加工尺寸：支持4、6、8英寸；2、拋光頭轉(zhuǎn)速：最大轉(zhuǎn)速≥200rpm；誤差±1%；3、拋光頭采用直驅(qū)電機。加壓方式：（略）
4（略）YX（略）A（略）工藝試驗機"（略）1套。主要技術(shù)指標：1、最小線寬：≤300±50nm（最小光柵周期：≤600nm）；2、線寬均勻性：≤50nm（3σ）@300nm分辨率；3、線粗糙度：≤30nm（3σ）@300nm分辨率；4、正面對準精度≤250nm（平均值）；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
5（略）YX（略）A（略）工藝試驗機"（略）1套。主要技術(shù)指標：1、8英寸向下兼容；2、射頻：頻率13.56MHz，上射頻額定功率≥1500W，下射頻額定功率≤300W；3、配備ALE快速切換閥，響應(yīng)時間<30ms；4、氣路總數(shù)可達8路，每路入口配有截止閥；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
6誤碼率分析儀YX（略）A（略）（略）參數(shù)測量儀"擬購誤碼率分析儀1臺。主要技術(shù)指標：1、支持2-64GBd的碼型產(chǎn)生；2、支持NRZ,PAM4編碼方式：（略）
7電子束蒸鍍機YX（略）A（略）工藝試驗機"擬購電子束蒸鍍機1臺。主要技術(shù)指標：1、溫度可以高達1100攝氏度，誤差為+/-1%；2、8”晶圓薄膜沉積均勻性可以達到σ<1.0%,49Pts5mmEE。3、設(shè)備可以運行最大8”晶圓，并向下兼容；4、設(shè)備預(yù)留多個功能模塊位置，可以方便升級，添加其他功能模塊，如磁控濺射、離子刻蝕、PLD等；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
8（略）YX（略）A（略）工藝試驗機"（略）1臺。主要規(guī)格參數(shù)：1、（略）包括進口分子泵(抽速≥650L/s)和進口渦旋干泵(抽速≥3.1L/s)，腔體與分子泵之間配有氣動閘板閥，本底真空度優(yōu)于9E-7Pa；2、靶臺：靶材尺寸及數(shù)量：φ2英寸×3個；每個靶材均可實現(xiàn)自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)速率≤10RPM，由電機控制；可在公轉(zhuǎn)方向上擺動掃描，以實現(xiàn)激光對靶材的均勻燒蝕；3、配備進口RHEED電子槍，電子槍能量最高可達30KeV，工作氣壓最高可達0.4Torr（50Pa）；4、配備進口ICP離子源，RF電源功率大于500w，流量計10sccm；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
9（略）調(diào)制分析儀YX（略）A（略）（略）參數(shù)測量儀"（略）調(diào)制分析儀統(tǒng)1臺。主要技術(shù)指標：1、2通道模擬實時帶寬≥59GHz；2、2通道實時采樣率≥200GS/s；3、存儲深度≥50M；4、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；5、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
10反應(yīng)離子刻蝕機YX（略）A（略）工藝試驗機"擬購反應(yīng)離子刻蝕機1臺。主要規(guī)格參數(shù)：1、設(shè)備8英寸并向下兼容；2、可實現(xiàn)對Ⅲ-Ⅴ族材料以及硅基材料的低損傷刻蝕；對SiO2的刻蝕：刻蝕速率>25nm/min；3、最大刻蝕深度<1mm，對PR的選擇比>2.5:1,側(cè)壁傾角88±2°；4、8英寸范圍內(nèi)刻蝕均勻性<±3%；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
11（略）YX（略）A（略）（略）參數(shù)測量儀"（略）1套。主要規(guī)格參數(shù)：1、覆蓋8*8陣列芯片的測試，配置16個SMU通道；2、任意波形發(fā)生器：16Bit，8通道，每條通道2G樣點波形存儲深度，采樣率10GS/s；3、源表：2通道，200V，測量分辨率0.1fA/100nV；4、最小脈寬：400ps5、示波器：8個模擬通道，62.5M記錄長度，2.5G帶寬；6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
12頻譜分析儀YX（略）A（略）（略）參數(shù)測量儀"擬購頻譜分析儀1臺。主要規(guī)格參數(shù)：1、頻率范圍不小于2hz-26.5GHz；2、實時頻譜分析帶寬不低于500MHz；3、總體幅度精度±0.27dB；4、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；5、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
13（略）YX（略）A（略）工藝試驗機"（略）1套。主要規(guī)格參數(shù)：1、反應(yīng)腔室1套，（略）1套；2、下電極1套；射頻電源及匹配器1套，頻率13.56MHz；3、（略）1套；（略）1套；控制軟件1套；3、選配loadlock（略）；4、選配400kHz低頻射頻電源；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
14（略）絡(luò)分析儀YX（略）A（略）（略）參數(shù)測量儀"（略）絡(luò)分析儀1臺。主要技術(shù)指標：1、頻率范圍不低于10MHz-43.5GHz；2、端口數(shù)量4個；系統(tǒng)動態(tài)范圍119dB；3、噪聲電平≤-130dBm；4、相位噪聲≤-119dBc/Hz(@10KHz頻偏)；5、跡線噪聲1GHz到40GHz幅度<0.008dB，相位<0.06°；6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
15功率器件分析儀YX（略）A（略）功率計"擬購功率器件分析儀1臺。主要技術(shù)指標：1、具有高電壓高電流IV測量功能，最大電流1500A，最大電壓3KV，且可在1500A和3KV之間進行自動切換；2、超大電流模塊，最大電流±1500A（脈沖），電流測量分辨率為：2mA，最大輸出電壓±60V，輸出脈沖寬度可設(shè)置范圍為10us至0.5ms；3、柵極最大輸出電壓：±30V，最大輸出電流：±1A（脈沖模式），±0.1A（DC），最小電流測量分辨率：10pA4、高壓模塊性能：最大輸出電壓范圍±3KV，最大輸出電流:±8mA；電流測量最小分辨率為：10fA；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
16金相顯微鏡YX（略）A（略）顯微鏡"擬購金相顯微鏡4臺。主要技術(shù)指標：1、（略）及變焦比：（略），變焦比或變倍比≥10倍。2、配備不少于4個物鏡，放大倍數(shù)及參數(shù)要求如下：3倍鏡頭，放大倍數(shù)范圍需涵蓋45X-400X，數(shù)值孔徑NA≥0.09，工作距離WD≥30mm10倍鏡頭,放大倍數(shù)范圍需涵蓋150X-1400X，數(shù)值孔徑NA≥0.30，工作距離WD≥30mm20倍鏡頭,放大倍數(shù)范圍需涵蓋（略）X,數(shù)值孔徑NA≥0.40,工作距離WD≥20mm40倍鏡頭，放大倍數(shù)范圍需涵蓋（略）X,數(shù)值孔徑NA≥0.80,工作距離WD≥4.5mm3、觀察方式：（略）
17相位噪聲分析儀YX（略）A（略）（略）參數(shù)測量儀"擬購相位噪聲分析儀1臺。主要技術(shù)指標：1、相位噪聲測量載波頻率范圍不小于1MHz-50GHz;2、相位噪聲測量頻偏可達1GHz；3、可完成測試功能包括瞬態(tài)測試、VCO測試、AM噪聲測試和Alan方差測試；4、相位噪聲測量SSB相位噪聲、（略）、時間抖動；5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
18橢偏儀YX（略）A（略）光學(xué)測試儀器"擬購橢偏儀1臺。主要技術(shù)指標：1、測量能力：全穆勒矩陣16個元素、偏振光譜Psi/Delta、折射率、厚度、雙折射及介電常數(shù)等；2、光譜范圍：210nm-1650nm；3、膜厚重復(fù)性精度：≦0.005nm（100nmSiO2/Si，30repeats，1σ）；膜厚測量精度：＜0.5nm(100nmSiO2/Si)；4、折射率重復(fù)性精度：≦0.0005nm（n@632.8nm,100nmSiO2/Si，30repeats，1σ）；5、激光定焦：采用激光測距儀精準探測最佳焦距，實現(xiàn)樣品Mapping快速掃描測量，采用x/y型Mapping掃描臺，支持2/4/6/8寸樣件多點定位自動掃描測量，軟件一鍵生成二維/三維膜厚分布圖；6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
19GPU服務(wù)器YX（略）A（略）服務(wù)器"擬購GPU服務(wù)器1臺。主要技術(shù)指標：1、4顆X86架構(gòu)CPU，2.1G,48C/96T；2、1TB內(nèi)存；12塊3.84TBSSD；3、2個萬兆光口；4、4個48G顯存高端AI計算GPU卡；5、滿配冗余電源風(fēng)扇，含上架導(dǎo)軌；6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。"（略）年08月
20ESD（略）YX（略）A（略）（略）參數(shù)測量儀擬購ESD（略）1套。該系統(tǒng)包括半導(dǎo)體器件及ESD（略）、中脈沖寬度擴展器及手動探頭。主要技術(shù)指標：1、半導(dǎo)體器件及ESD（略）：（略）電流最大40A；（略）電壓最大2KV；支持上升時間10ns；支持脈沖寬度100ns；支持封裝級、晶圓級測試；提供自動測試軟件；提供數(shù)據(jù)分析軟件；支持升級VF-TLP/HBM/HMM。2、中脈沖寬度擴展器：短路電流最大40A；開路電壓最大2KV；上升時間10ns；脈沖寬度100ns。3、手動探頭：探針臺主機大小4英寸；移動精度10微米；三目體式顯微鏡；目鏡倍率20倍；放大倍率16倍~100倍；200萬像素高清CCD成像系。4、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；5、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。（略）年08月
本次公開的采購意向是本單位：（略）
（略）
2025年07月04日