政府采購意向公告
中國農業大學2024年11月采購意向項目-7政府采購意向
為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關規定，現將中國農業大學2024年11月采購意向項目-7采購意向公開如下：
（略）采購項目名稱：（略）
（略）非掩膜微納光刻機等采購項目A（略）其他造紙和印刷機械采購兩項：（1）非掩膜微納光刻機，（2）電子掩膜設計軟件，具體參數如下：（1）非掩膜微納光刻機，3.技術指標及要求3.1直寫性能：（略）無需物理掩膜板；（略）直寫分辨率模式：
0.6μm，1.0μm，5.0μm，且多種分辨率模式可通過軟件自動切換，可原位升級添加2.0μm分辨率模式；
（略）最快直寫速度
（mm2/min）：
（略）@0.6μm，（略）@1μm，（略）@5μm；（略）對準及套刻精度：≤1um；（略）灰度直寫等級：256級;3.2直寫光源（略）配置雙光源，包含激光波長405nm和
（略）-11
365nm的光源；（略）光源功率：1.5W；3.3樣品（略）（略）最大基片尺寸：155mm直徑；（略）最大基片厚度：7mm；（略）最大（略）域：149mm×149mm；（略）配備X、Y、Z三維直流線性位移電機，步進精度≤100nm；（略）軸最大行程不低于149mm，Z軸最大行程7mm。3.4（略）（略）（略），放大倍數分別為：×3/×5/×20，3種放大倍數可自動切換；（略）（略），可進行二維成像，Z向分辨率≤200nm。3.5對準、（略）（略）帶有自動對準及局域可視化對準雙組件，且對準精度≤1um；（略）配備自動對焦組件；（略）可對表面不平整的樣品進行Z向聚焦加工面自動調節；（略）帶有自動校正軟件和探測器。3.6配備自動標記識別功能，可快速自動識別特定圖形標記圖案。3.7其它功能（略）帶有多基片多任務自動加工功能；（略）帶有同一任務（略）域不同分辨率模式自動組合加工功能。3.8計算機及軟件（略）配套特殊配置的計算機一套；（略）安裝基于Windows系統的專用控制軟件，兼容CIF,TIFF,BMP等文件；（略）兼容電子掩膜版設計軟件。3.9設備為臺式桌面型，主機尺寸：≤70cm×70cm×70cm，整體占地面積≤120cm×120cm。（2）電子掩膜設計軟件，1)CAD光刻圖案軟件，能夠設計各種掩膜圖案2)與市面上的臺式激光直寫光刻機有很好的兼容性3)支持多種標準圖形的設計文件（DXF,CIF,GDSII,Gerber）4)可以直接讀取TIFF,BMP等圖片格式5)書寫范圍只由基片尺寸決定6)支持windows（略）語言7)支持圖形文件的直接導入、復制、陣列生成、旋轉、鏡
像、擦除修改、縮放、組合、拆分、柵格化以及定義光刻圖層等功能。設計圖案應包括但不限于直線、曲線、線段、圓、矩形、多邊形、自由曲線和自由圖形等，并能夠實現線與面之間相互轉換8)支持軟拼接功能，能夠自主選擇軟拼接或位移臺直接拼接。
本次公開的采購意向是本單位：（略）
聯系人：（略）
中國農業大學
（略）